Advanced ClusterM3/M9 PE/TH ALD系列是我司的團簇式 ALD 設(shè)備。該系列搭載獨立控制的真空傳輸、標(biāo)準(zhǔn) ALD 反應(yīng)腔、進/取樣腔和冷卻腔可實現(xiàn)多功能材料和器件制備；同時通過熱法和等離子體增強腔體的相互配合可以實現(xiàn)真空環(huán)境下完整器件的前處理、制備和后處理工藝。該系列適用于 28 / 14 nm 制程的 IC 邏輯芯片，3D NAND 及特殊記憶體。