原磊納米自主開發(fā)的團(tuán)簇式ALD設(shè)備，應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域量產(chǎn)客戶。集成8~10個(gè)工藝腔體自主研發(fā)的VTM傳輸系統(tǒng)，配置2個(gè)冷卻站，分別同時(shí)冷卻5片晶圓配置2 loadlocks(25pcs/loadlock),自帶內(nèi)部自清潔功能，保障晶圓潔凈工藝腔體本底壓力低，極大控制氮化物膜層的氧含量獨(dú)特工藝腔體設(shè)計(jì)，保證良好的溫度場和流場特有等離子體處理技術(shù)，可有效減少高能離子對局部膜層的損傷維護(hù)便利，自帶起重系統(tǒng)，極大減少系統(tǒng)組裝、檢修、維護(hù)時(shí)間。