Batch 25系列是我司自主研發(fā)的多片式 ALD 系統(tǒng)。采用獨(dú)特的腔體結(jié)構(gòu)及進(jìn)氣方式，有效降低生產(chǎn)成本和提高產(chǎn)能，保證優(yōu)質(zhì)的薄膜性能；可一次性沉積25片8寸晶圓，滿足中試線以上的量產(chǎn)規(guī)模需求，適用于先進(jìn)封裝、光伏等多個領(lǐng)域。